超高真空薄膜X射線譜學(xué)系統(tǒng)，可以在超高真空條件下開展薄膜相關(guān)的掠入射X射線譜學(xué)實(shí)驗(yàn)。該系統(tǒng)配備有樣品中轉(zhuǎn)存放臺(tái)，樣品可以在不暴露大氣的情況下，利用真空手提箱或者真空進(jìn)樣腔室傳遞到樣品中轉(zhuǎn)存放臺(tái)上。在測(cè)試室對(duì)薄膜樣品進(jìn)行掠入射硬X射線吸收/衍射/散射信號(hào)的測(cè)量。該系統(tǒng)配置一個(gè)高精度6自由度并聯(lián)位移平臺(tái)，可帶動(dòng)整個(gè)腔體相對(duì)X射線光束線的精密位置調(diào)整。

六自由度并聯(lián)平臺(tái)參數(shù)

運(yùn) 動(dòng) 維 度 ：X、Y、Z、α、β、Ψ

X、Y 行程 ：±8mm、±8mm
Z 行程 ：±9mm
α、β行程 ：±3°
Ψ 行程 ：±5°
推進(jìn)設(shè)備分辨率：1μm
X、Y運(yùn)動(dòng)精度：5μm
Z運(yùn)動(dòng)精度：3μm
X、Y重復(fù)運(yùn)動(dòng)精度：3μm
Z重復(fù)運(yùn)動(dòng)精度：2μm
α、β運(yùn)動(dòng)精度：0.069mrad
X、Y移動(dòng)速度：1mm/s
Z移動(dòng)速度：2mm/s
負(fù)載（水平）：100Kg
斷電保持力：20Kg
質(zhì)量：10.5Kg
尺寸（直徑*高度）：390*310mm

特點(diǎn)

· 超高真空實(shí)驗(yàn)環(huán)境

· 樣品變溫測(cè)試環(huán)境（300K~1000K）

· XAFS實(shí)驗(yàn)（TEY全電子產(chǎn)額模式和PFY熒光產(chǎn)額模式可同時(shí)進(jìn)行）

· GIXRD掠入射衍射實(shí)驗(yàn)

· 超高真空條件下樣品傳遞

真空度

樣品切光曲線