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AXSYS AL120-12-WM

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AXSYS AL120-12-WM
 
12’’晶圓搬送機(jī)及Wafer Mapping
 
應(yīng)用特點(diǎn):
針對(duì)12’’晶圓搬送及檢查,整合電動(dòng)臺(tái),自動(dòng)OCR,Wafer Alignment,配合的wafer mapping系統(tǒng)??梢宰x取上一站的wafer mapping,實(shí)現(xiàn)review,bincode編輯等,并可以繼續(xù)上載mapping,供下一站適用??删幊套詣?dòng)跑位、拍照,減輕人工負(fù)荷。

設(shè)備優(yōu)勢(shì):
·奧林巴斯AL-120-12晶圓搬送機(jī)平臺(tái)
·奧林巴斯MX63顯微鏡
·300mm X 300mm 電動(dòng)平臺(tái)
·Z自動(dòng)聚焦
·自動(dòng)wafer Alignment
·OCR Wafer ID 讀取
·可編輯的wafer map,適用多種SEMI標(biāo)準(zhǔn)格式
·Bincode的生成和配置
·SECS/GEM 連線



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